SINOVAC半导体车间真空吸尘系统CVE1510

半导体车间真空吸尘系统

在半导体制造车间（尤其是晶圆制造的核心区域——洁净室），粉尘（更准确地说是空气中的微粒污染物）是头号敌人之一。这些微小颗粒一旦落在精密的硅片上，就可能造成电路短路、开路或参数漂移，导致芯片失效或良率大幅下降。因此，控制粉尘是半导体生产的核心要求之一。
峰泽凯SINOVAC车间吸尘系统
满足洁净度等级要求：

半导体制造需要维持极其严格的空气洁净度标准（每立方英尺空气中特定大小颗粒的数量上限）。普通吸尘器在清洁过程中本身就会搅起大量颗粒并释放新颗粒，完全违背洁净室运行原则。

洁净室吸尘器是整个洁净室污染控制策略的一部分，其设计和操作都是为了维持或恢复所需的洁净度等级，而不是破坏它。

收集和处理特殊污染物：

半导体工艺可能产生有害粉尘（如某些金属、化学品残留物）。

洁净室吸尘器可以配备HEPA/ULPA过滤的密封集尘系统，确保有害物质被安全捕获且不外泄，便于集中处理。

半导体车间（洁净室）内存在多种来源的微粒污染，其大小足以对纳米级的电路结构造成致命损伤。为了在清洁维护过程中避免引入新的污染源、防止静电损伤、并确保排出的空气符合甚至优于洁净室标准，必须使用专门设计的无尘室真空吸尘系统。这种系统是半导体制造高良率和可靠性的关键保障设施之一，绝不是普通吸尘器可以替代的。它们是洁净室“清洁工”，但自身必须是“超级洁净”的典范。
我们将为您的车间定制满意的中央吸尘系统！